TaC कोटिंग मार्गदर्शक रिंग

TaC कोटिंग मार्गदर्शक रिंग्जचे कार्य:

अचूक गॅस प्रवाह नियंत्रण: दTaC कोटिंग मार्गदर्शक रिंगच्या गॅस इंजेक्शन सिस्टममध्ये रणनीतिकदृष्ट्या स्थित आहेMOCVD अणुभट्टी. त्याचे प्राथमिक कार्य म्हणजे पूर्ववर्ती वायूंचा प्रवाह निर्देशित करणे आणि सर्व थर वेफर पृष्ठभागावर त्यांचे एकसमान वितरण सुनिश्चित करणे. गॅस फ्लो डायनॅमिक्सवर हे अचूक नियंत्रण एकसमान एपिटॅक्सियल लेयर वाढ आणि इच्छित सामग्री गुणधर्म साध्य करण्यासाठी आवश्यक आहे.

थर्मल व्यवस्थापन: TaC कोटिंग गाईड रिंग अनेकदा भारदस्त तपमानावर चालतात कारण ते तापलेल्या ससेप्टर आणि सब्सट्रेटच्या जवळ असतात. TaC ची उत्कृष्ट थर्मल चालकता उष्णता प्रभावीपणे नष्ट करण्यात मदत करते, स्थानिकीकृत ओव्हरहाटिंग प्रतिबंधित करते आणि प्रतिक्रिया झोनमध्ये स्थिर तापमान प्रोफाइल राखते.

MOCVD मध्ये TaC चे फायदे:

अत्यंत तापमान प्रतिकार: 3800°C पेक्षा जास्त, सर्व पदार्थांमधील सर्वात जास्त वितळणाऱ्या बिंदूंपैकी एक TaC आहे.

उत्कृष्ट रासायनिक जडत्व: TaC अमोनिया, सिलेन आणि विविध धातू-सेंद्रिय संयुगे यांसारख्या MOCVD मध्ये वापरल्या जाणाऱ्या प्रतिक्रियाशील पूर्ववर्ती वायूंपासून गंज आणि रासायनिक आक्रमणास अपवादात्मक प्रतिकार प्रदर्शित करते.

चे भौतिक गुणधर्मTaC कोटिंग:

MOCVD कामगिरीसाठी फायदे:

MOCVD उपकरणांमध्ये VeTek सेमीकंडक्टर TaC कोटिंग गाईड रिंगचा वापर यामध्ये महत्त्वपूर्ण योगदान देतो:

वाढलेली उपकरणे अपटाइम: TaC कोटिंग गाईड रिंगची टिकाऊपणा आणि विस्तारित आयुर्मान वारंवार बदलण्याची गरज कमी करते, देखभाल डाउनटाइम कमी करते आणि MOCVD प्रणालीची कार्यक्षमता वाढवते.

वर्धित प्रक्रिया स्थिरता: TaC ची थर्मल स्थिरता आणि रासायनिक जडत्व MOCVD चेंबरमध्ये अधिक स्थिर आणि नियंत्रित प्रतिक्रिया वातावरणात योगदान देते, प्रक्रिया भिन्नता कमी करते आणि पुनरुत्पादनक्षमता सुधारते.

सुधारित एपिटॅक्सियल लेयर एकरूपता: TaC कोटिंग गाईड रिंग्सद्वारे सुलभ गॅस प्रवाह नियंत्रण एकसमान पूर्ववर्ती वितरण सुनिश्चित करते, परिणामी उच्च एकसमानएपिटॅक्सियल लेयरची वाढसुसंगत जाडी आणि रचना सह.

टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंगमायक्रोस्कोपिक क्रॉस-सेक्शनवर: