टँटलम कार्बाइड कोटिंग सपोर्ट

VeTek सेमीकंडक्टरचे मुख्य कार्यटँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंगसमर्थन सुधारण्यासाठी आहेउष्णता प्रतिकार, पोशाख प्रतिरोध आणि गंज प्रतिकारटँटलम कार्बाइड कोटिंगचा थर कोटिंग करून सब्सट्रेटला, प्रक्रियेची अचूकता आणि विश्वासार्हता सुधारण्यासाठी आणि घटकांचे सेवा आयुष्य वाढवण्यासाठी. हे सेमीकंडक्टर प्रक्रियेच्या क्षेत्रात वापरले जाणारे उच्च-कार्यक्षमता कोटिंग उत्पादन आहे.

VeTek सेमीकंडक्टरच्या टँटलम कार्बाइड कोटिंग सपोर्टमध्ये मोहस कडकपणा जवळजवळ 9~10 आहे, जो डायमंडनंतर दुसऱ्या क्रमांकावर आहे. यात अत्यंत मजबूत पोशाख प्रतिरोध आहे आणि प्रक्रियेदरम्यान पृष्ठभागावरील पोशाख आणि प्रभावाचा प्रभावीपणे प्रतिकार करू शकतो, ज्यामुळे उपकरणाच्या घटकांचे सेवा आयुष्य प्रभावीपणे वाढवता येते. सुमारे 3880 डिग्री सेल्सिअसच्या त्याच्या उच्च वितळण्याच्या बिंदूसह, हे सहसा अर्धसंवाहक उपकरणांच्या मुख्य घटकांना कोटिंग करण्यासाठी वापरले जाते, जसे की सपोर्ट स्ट्रक्चर्सचे पृष्ठभाग कोटिंग्स, उष्णता उपचार उपकरणे, सेमीकंडक्टर उपकरणांमधील चेंबर्स किंवा गॅस्केट त्याच्या पोशाख प्रतिरोध आणि उच्च तापमान वाढविण्यासाठी. प्रतिकार

टँटलम कार्बाइडच्या अत्यंत उच्च वितळण्याच्या बिंदूमुळे, अर्धसंवाहक प्रक्रिया प्रक्रियांमध्ये, जसे की 3880°Cरासायनिक वाफ जमा करणे (CVD)आणिभौतिक वाष्प निक्षेप (PVD), मजबूत उच्च तापमान प्रतिकार आणि रासायनिक गंज प्रतिरोधक सह TaC कोटिंग प्रभावीपणे उपकरणाच्या घटकांचे संरक्षण करू शकते आणि अत्यंत वातावरणात गंज किंवा सब्सट्रेटचे नुकसान टाळू शकते, वेफर उत्पादनात उच्च तापमान वातावरणासाठी प्रभावी संरक्षण प्रदान करते. हे वैशिष्ट्य हे देखील निर्धारित करते की VeTek सेमीकंडक्टरचा टँटलम कार्बाइड कोटिंग सपोर्ट बहुतेकदा नक्षीकाम आणि संक्षारक प्रक्रियांमध्ये वापरला जातो.

टँटलम कार्बाइड कोटिंग सपोर्टमध्ये कणांचे प्रदूषण कमी करण्याचे कार्य देखील आहे. वेफर प्रक्रियेदरम्यान, पृष्ठभागावरील पोशाख सामान्यतः कण दूषित करते, ज्यामुळे वेफरच्या उत्पादनाच्या गुणवत्तेवर परिणाम होतो. TaC कोटिंगची 9-10 Mohs कडकपणाची अत्यंत उत्पादन वैशिष्ट्ये प्रभावीपणे हा पोशाख कमी करू शकतात, ज्यामुळे कणांची निर्मिती कमी होते. TaC कोटिंगच्या उत्कृष्ट थर्मल चालकता (सुमारे 21 W/m·K) सह एकत्रित, ते उच्च तापमानाच्या परिस्थितीत चांगली थर्मल चालकता राखू शकते, ज्यामुळे वेफर उत्पादनाचे उत्पादन आणि सातत्य मोठ्या प्रमाणात सुधारते.

VeTek सेमीकंडक्टरच्या मुख्य TaC कोटिंग उत्पादनांमध्ये समाविष्ट आहेटीएसी कोटिंग हीटर, CVD TaC कोटिंग क्रूसिबल, TaC कोटिंग रोटेशन ससेप्टरआणिTaC कोटिंग सुटे भाग, इ. आणि सानुकूलित उत्पादन सेवांना समर्थन देतात. VeTek Semiconductor सेमीकंडक्टर उद्योगासाठी उत्कृष्ट उत्पादने आणि तांत्रिक उपाय प्रदान करण्यासाठी वचनबद्ध आहे. आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्याची प्रामाणिकपणे आशा करतो.

मायक्रोस्कोपिक क्रॉस-सेक्शनवर टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग:

CVD TaC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म：