Vetek Semiconductor हे वेफर कॅरियर ट्रेसाठी सानुकूल डिझाइन तयार करण्यासाठी त्याच्या ग्राहकांशी भागीदारी करण्यात माहिर आहे. वेफर कॅरियर ट्रे CVD सिलिकॉन एपिटॅक्सी, III-V एपिटॅक्सी आणि III-नायट्राइड एपिटॅक्सी, सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सीमध्ये वापरण्यासाठी डिझाइन केले जाऊ शकते. कृपया तुमच्या ससेप्टर आवश्यकतांबाबत वेटेक सेमीकंडक्टरशी संपर्क साधा.
तुम्ही आमच्या कारखान्यातून वेफर कॅरिअर ट्रे खरेदी करण्यासाठी निश्चिंत राहू शकता.
वेटेक सेमीकंडक्टर मुख्यत्वे सीव्हीडी SiC कोटिंग ग्रेफाइट भाग जसे की तिसऱ्या पिढीतील सेमीकंडक्टर SiC-CVD उपकरणांसाठी वेफर कॅरियर ट्रे प्रदान करते आणि उद्योगासाठी प्रगत आणि स्पर्धात्मक उत्पादन उपकरणे प्रदान करण्यासाठी समर्पित आहे. SiC-CVD उपकरणे सिलिकॉन कार्बाइड सब्सट्रेटवर एकसंध सिंगल क्रिस्टल थिन फिल्म एपिटॅक्सियल लेयरच्या वाढीसाठी वापरली जातात, SiC एपिटॅक्सियल शीट प्रामुख्याने Schottky diode, IGBT, MOSFET आणि इतर इलेक्ट्रॉनिक उपकरणांच्या निर्मितीसाठी वापरली जाते.
उपकरणे प्रक्रिया आणि उपकरणे जवळून एकत्र करतात. SiC-CVD उपकरणांचे उच्च उत्पादन क्षमता, 6/8 इंच सुसंगतता, स्पर्धात्मक खर्च, एकाधिक भट्ट्यांसाठी सतत स्वयंचलित वाढ नियंत्रण, कमी दोष दर, तापमान क्षेत्र नियंत्रण आणि प्रवाह क्षेत्र नियंत्रणाच्या डिझाइनद्वारे देखभाल सुविधा आणि विश्वासार्हता यामध्ये स्पष्ट फायदे आहेत. आमच्या वेटेक सेमीकंडक्टरने प्रदान केलेल्या SiC कोटेड वेफर कॅरियर ट्रेसह एकत्रित केल्याने, ते उपकरणाची उत्पादन कार्यक्षमता सुधारू शकते, आयुष्य वाढवू शकते आणि खर्च नियंत्रित करू शकते.
वेटेक सेमीकंडक्टरच्या वेफर वाहक ट्रेमध्ये मुख्यत्वे उच्च शुद्धता, चांगली ग्रेफाइट स्थिरता, उच्च प्रक्रिया अचूकता, तसेच CVD SiC कोटिंग, उच्च तापमान स्थिरता आहे: सिलिकॉन-कार्बाइड कोटिंग्समध्ये उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता असते आणि अत्यंत उच्च तापमानाच्या वातावरणात उष्णता आणि रासायनिक गंजांपासून सब्सट्रेटचे संरक्षण होते. .
कडकपणा आणि पोशाख प्रतिरोध: सिलिकॉन-कार्बाइड कोटिंग्जमध्ये सहसा उच्च कडकपणा असतो, उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोध प्रदान करते आणि सब्सट्रेटचे सेवा आयुष्य वाढवते.
गंज प्रतिकार: सिलिकॉन कार्बाइड लेप अनेक रसायनांना गंज प्रतिरोधक आहे आणि गंज नुकसान पासून थर संरक्षण करू शकता.
घर्षणाचे कमी केलेले गुणांक: सिलिकॉन-कार्बाइड कोटिंग्जमध्ये सामान्यतः घर्षण गुणांक कमी असतो, ज्यामुळे घर्षण नुकसान कमी होते आणि घटकांची कार्यक्षमता सुधारते.
थर्मल चालकता: सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंगमध्ये सामान्यतः चांगली थर्मल चालकता असते, ज्यामुळे सब्सट्रेटला उष्णता चांगल्या प्रकारे पसरवण्यास मदत होते आणि घटकांचा उष्णता नष्ट होण्याचा प्रभाव सुधारतो.
सर्वसाधारणपणे, सीव्हीडी सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग सब्सट्रेटसाठी एकाधिक संरक्षण प्रदान करू शकते, त्याचे सेवा आयुष्य वाढवू शकते आणि त्याचे कार्यप्रदर्शन सुधारू शकते.
CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म | |
मालमत्ता | ठराविक मूल्य |
क्रिस्टल स्ट्रक्चर | FCC β फेज पॉलीक्रिस्टलाइन, प्रामुख्याने (111) ओरिएंटेड |
घनता | 3.21 g/cm³ |
कडकपणा | 2500 विकर्स कडकपणा (500 ग्रॅम लोड) |
धान्य आकार | 2~10μm |
रासायनिक शुद्धता | 99.99995% |
उष्णता क्षमता | 640 J·kg-1·K-1 |
उदात्तीकरण तापमान | 2700℃ |
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ | 415 MPa RT 4-पॉइंट |
तरुणांचे मॉड्यूलस | 430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃ |
औष्मिक प्रवाहकता | 300W·m-1·K-1 |
थर्मल विस्तार (CTE) | 4.5×10-6K-1 |