VeTek सेमीकंडक्टरचे CVD SiC कोटिंग एपिटॅक्सी ससेप्टर हे सेमीकंडक्टर वेफर हाताळणी आणि प्रक्रियेसाठी डिझाइन केलेले एक अचूक-अभियांत्रिक साधन आहे. हे SiC कोटिंग एपिटॅक्सी ससेप्टर पातळ फिल्म्स, एपिलेअर्स आणि इतर कोटिंग्सच्या वाढीस चालना देण्यासाठी महत्त्वाची भूमिका बजावते आणि तापमान आणि भौतिक गुणधर्म तंतोतंत नियंत्रित करू शकते. तुमच्या पुढील चौकशीचे स्वागत आहे.
CVD SiC कोटिंग एपिटॅक्सी ससेप्टर हा एक प्रकार आहेMOCVD LED Epi ससेप्टर, जी CVD अणुभट्टीमध्ये मध्यवर्ती भूमिका बजावते. Epi ससेप्टर म्हणून, तो केवळ उष्णतेचा स्रोत नाही, तर डिपॉझिशन प्रक्रियेदरम्यान सब्सट्रेटसाठी एक स्थिर समर्थन प्लॅटफॉर्म देखील प्रदान करतो.SiC कोटिंगउच्च तापमानाच्या वातावरणात ग्रेफाइट ससेप्टरचे ऑक्सिडेशन आणि दूषितता प्रभावीपणे कमी करू शकते, ज्यामुळे जमा केलेल्या सामग्रीची उच्च शुद्धता सुनिश्चित होते.
बेसिकCVD SiC कोटिंगचे भौतिक गुणधर्म:
CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म
मालमत्ता
ठराविक मूल्य
क्रिस्टल स्ट्रक्चर
FCC β फेज पॉलीक्रिस्टलाइन, प्रामुख्याने (111) ओरिएंटेड
घनता
3.21 g/cm³
कडकपणा
2500 विकर्स कडकपणा (500 ग्रॅम लोड)
धान्य आकार
2~10μm
रासायनिक शुद्धता
99.99995%
उष्णता क्षमता
640 J·kg-1· के-1
उदात्तीकरण तापमान
2700℃
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ
415 MPa RT 4-पॉइंट
तरुणांचे मॉड्यूलस
430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃
थर्मल चालकता
300W·m-1· के-1
थर्मल विस्तार (CTE)
४.५×१०-6K-1
CVD SiC कोटिंग एपिटॅक्सी ससेप्टर उत्पादन फायदे:
● अचूक निक्षेप: CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor सह, तुम्ही उच्च-गुणवत्तेचे आणि पुनरावृत्ती करता येण्याजोगे परिणाम मिळवण्यासाठी पातळ फिल्म्स आणि कोटिंग्जचे तंतोतंत नियंत्रित डिपॉझिशन साध्य करू शकता.
● कमी झालेले प्रदूषण: SiC कोटिंगमुळे दूषित होण्याचा धोका कमी होतोएपि ससेप्टरग्रेफाइट आधारित, जमा केलेल्या सामग्रीची शुद्धता सुनिश्चित करणे.
● टिकाऊपणा: SiC कोटिंग ग्रेफाइट एपिटॅक्सी ससेप्टरचा ऑक्सिडेशन प्रतिरोध आणि रासायनिक गंज प्रतिकार वाढवते, ज्यामुळे ते दीर्घ सेवा आयुष्य आणि उच्च विश्वसनीयता देते.
VeTek सेमीकंडक्टर उच्च-गुणवत्तेची उत्पादने आणि स्पर्धात्मक किंमती प्रदान करण्यासाठी वचनबद्ध आहे. ते असोEPI प्राप्तकर्ता असल्यासकिंवा उच्च शुद्धता ग्रेफाइट EPI ससेप्टर, आम्ही तुमच्या गरजा पूर्ण करू शकतो. आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी उत्सुक आहोत.
VeTek सेमीकंडक्टरCVD SiC कोटिंग एपिटॅक्सी ससेप्टर उत्पादनांची दुकाने: