TaC कोटिंग म्हणजे काय?

TaC कोटिंग (टँटलम कार्बाइड कोटिंग) हे रासायनिक वाष्प संचय (CVD) प्रक्रियेद्वारे उत्पादित उच्च-कार्यक्षमता कोटिंग सामग्री आहे. अत्यंत परिस्थितीत TaC कोटिंगच्या उत्कृष्ट गुणधर्मांमुळे, ते सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते, विशेषत: उच्च तापमान आणि मजबूत संक्षारक वातावरणाची आवश्यकता असलेल्या उपकरणे आणि घटकांमध्ये. TaC कोटिंगचा वापर सामान्यतः सब्सट्रेट्स (जसे की ग्रेफाइट किंवा सिरॅमिक्स) उच्च तापमान, संक्षारक वायू आणि यांत्रिक पोशाख यांच्या नुकसानीपासून संरक्षण करण्यासाठी केला जातो.

उत्पादन वैशिष्ट्ये आणि फायदे

अत्यंत उच्च थर्मल स्थिरता:

वैशिष्ट्य वर्णन: TaC कोटिंगचा वितळण्याचा बिंदू 3880°C पेक्षा जास्त आहे आणि ते अत्यंत उच्च तापमान वातावरणात विघटन किंवा विकृतीशिवाय स्थिरता राखू शकते.

फायदा: हे CVD TaC कोटिंग आणि TaC कोटेड ससेप्टर सारख्या उच्च-तापमानाच्या सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये एक अपरिहार्य सामग्री बनवते, विशेषत: Aixtron G5 उपकरणांसारख्या MOCVD अणुभट्ट्यांमधील अनुप्रयोगांसाठी.

उत्कृष्ट गंज प्रतिकार:

वैशिष्ट्य वर्णन: TaC मध्ये अत्यंत मजबूत रासायनिक जडत्व आहे आणि ते क्लोराईड्स आणि फ्लोराईड्स सारख्या संक्षारक वायूंच्या क्षरणाला प्रभावीपणे प्रतिकार करू शकतात.

फायदे: अत्यंत संक्षारक रसायनांचा समावेश असलेल्या अर्धसंवाहक प्रक्रियांमध्ये, TaC कोटिंग उपकरणाच्या घटकांचे रासायनिक हल्ल्यापासून संरक्षण करते, सेवा आयुष्य वाढवते आणि प्रक्रियेची स्थिरता सुधारते, विशेषत: सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट आणि इतर प्रमुख घटकांच्या वापरामध्ये.

उत्कृष्ट यांत्रिक कडकपणा:

वैशिष्ट्य वर्णन: TaC कोटिंगची कठोरता 9-10 Mohs इतकी जास्त आहे, ज्यामुळे ते यांत्रिक पोशाख आणि उच्च तापमानाच्या ताणांना प्रतिरोधक बनवते.

फायदा: उच्च कडकपणा गुणधर्म TaC कोटिंग उच्च पोशाख आणि उच्च तणाव वातावरणात वापरण्यासाठी विशेषतः योग्य बनवते, कठोर परिस्थितीत उपकरणांची दीर्घकालीन स्थिरता आणि विश्वासार्हता सुनिश्चित करते.

कमी रासायनिक प्रतिक्रिया:

वैशिष्ट्य वर्णन: त्याच्या रासायनिक जडत्वामुळे, TaC कोटिंग उच्च तापमान वातावरणात कमी प्रतिक्रियाशीलता राखू शकते आणि प्रतिक्रियाशील वायूंसह अनावश्यक रासायनिक प्रतिक्रिया टाळू शकते.

फायदा: सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत हे विशेषतः महत्वाचे आहे कारण ते प्रक्रियेच्या वातावरणाची शुद्धता आणि सामग्रीचे उच्च-गुणवत्तेचे संचय सुनिश्चित करते.

सेमीकंडक्टर प्रक्रियेत टीएसी कोटिंगची भूमिका

मुख्य उपकरणाच्या घटकांचे संरक्षण करणे:

कार्याचे वर्णन: TaC कोटिंग सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांच्या मुख्य घटकांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते, जसे की TaC कोटेड ससेप्टर, ज्यांना अत्यंत परिस्थितीत काम करणे आवश्यक आहे. TaC सह कोटिंग करून, हे घटक खराब न होता उच्च तापमान आणि संक्षारक वायू वातावरणात दीर्घकाळ कार्य करू शकतात.

उपकरणांचे आयुष्य वाढवा:

कार्याचे वर्णन: Aixtron G5 सारख्या MOCVD उपकरणांमध्ये, TaC कोटिंगमुळे उपकरणाच्या घटकांच्या टिकाऊपणात लक्षणीय सुधारणा होऊ शकते आणि गंज आणि पोशाख यामुळे उपकरणांची देखभाल आणि बदलण्याची गरज कमी होते.

प्रक्रियेची स्थिरता वाढवा:

कार्याचे वर्णन: सेमीकंडक्टर उत्पादनामध्ये, TaC कोटिंग स्थिर उच्च तापमान आणि रासायनिक वातावरण प्रदान करून डिपॉझिशन प्रक्रियेची एकसमानता आणि सुसंगतता सुनिश्चित करते. सिलिकॉन एपिटॅक्सी आणि गॅलियम नायट्राइड (GaN) सारख्या एपिटॅक्सियल वाढ प्रक्रियेमध्ये हे विशेषतः महत्वाचे आहे.

प्रक्रिया कार्यक्षमता सुधारित करा:

कार्याचे वर्णन: उपकरणाच्या पृष्ठभागावरील कोटिंगला अनुकूल करून, TaC कोटिंग प्रक्रियेची एकूण कार्यक्षमता सुधारू शकते, दोष दर कमी करू शकते आणि उत्पादनाचे उत्पन्न वाढवू शकते. उच्च-परिशुद्धता, उच्च-शुद्धता सेमीकंडक्टर सामग्रीच्या निर्मितीसाठी हे महत्त्वपूर्ण आहे.

उच्च थर्मल स्थिरता, उत्कृष्ट गंज प्रतिकार, यांत्रिक कडकपणा आणि सेमीकंडक्टर प्रक्रियेदरम्यान TaC कोटिंगद्वारे प्रदर्शित केलेली कमी रासायनिक प्रतिक्रिया यामुळे सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांच्या घटकांचे संरक्षण करण्यासाठी एक आदर्श पर्याय बनतो. उच्च तापमान, उच्च शुद्धता आणि कार्यक्षम उत्पादन प्रक्रियांसाठी सेमीकंडक्टर उद्योगाची मागणी सतत वाढत असल्याने, TaC कोटिंगला मोठ्या प्रमाणात उपयोगाची शक्यता आहे, विशेषत: CVD TaC कोटिंग, TaC कोटेड ससेप्टर आणि Aixtron G5 यांचा समावेश असलेली उपकरणे आणि प्रक्रियांमध्ये.

VeTek semiconductor Technology Co., LTD ही सेमीकंडक्टर उद्योगासाठी प्रगत कोटिंग मटेरियलची आघाडीची प्रदाता आहे. आमची कंपनी उद्योगासाठी अत्याधुनिक उपाय विकसित करण्यावर लक्ष केंद्रित करते.

आमच्या मुख्य उत्पादन ऑफरमध्ये CVD सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग्ज, टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्ज, बल्क SiC, SiC पावडर, आणि उच्च-शुद्ध SiC साहित्य, SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर, प्रीहीट रिंग, TaC कोटेड डायव्हर्शन रिंग, हाफमून पार्ट इ. ., शुद्धता 5ppm पेक्षा कमी आहे, ग्राहकांच्या गरजा पूर्ण करू शकते.

VeTek सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उद्योगासाठी अत्याधुनिक तंत्रज्ञान आणि उत्पादन विकास उपाय विकसित करण्यावर लक्ष केंद्रित करते.आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्याची प्रामाणिकपणे आशा करतो.