प्री-हीट रिंग

VeTek Semiconductor हा चीनमधील SiC कोटिंग उत्पादकाचा नवोन्मेषक आहे. VeTek सेमीकंडक्टर द्वारे प्रदान केलेली प्री-हीट रिंग एपिटॅक्सी प्रक्रियेसाठी डिझाइन केलेली आहे. कच्चा माल म्हणून एकसमान सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग आणि उच्च-अंत ग्रेफाइट सामग्री सातत्यपूर्ण निक्षेपण सुनिश्चित करते आणि एपिटॅक्सियल लेयरची गुणवत्ता आणि एकसमानता सुधारते. आम्ही तुमच्यासोबत दीर्घकालीन सहकार्य स्थापित करण्यास उत्सुक आहोत.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

प्री-हीट रिंग हे सेमीकंडक्टर उत्पादनातील एपिटॅक्सियल (EPI) प्रक्रियेसाठी विशेषतः डिझाइन केलेले एक प्रमुख उपकरण आहे. हे EPI प्रक्रियेपूर्वी वेफर्स प्री-हीट करण्यासाठी वापरले जाते, संपूर्ण एपिटॅक्सियल वाढीमध्ये तापमान स्थिरता आणि एकसमानता सुनिश्चित करते.

VeTek सेमीकंडक्टरद्वारे निर्मित, आमची EPI प्री हीट रिंग अनेक उल्लेखनीय वैशिष्ट्ये आणि फायदे देते. प्रथम, ते उच्च थर्मल चालकता सामग्री वापरून तयार केले जाते, ज्यामुळे वेफर पृष्ठभागावर जलद आणि एकसमान उष्णता हस्तांतरण होते. हे हॉटस्पॉट्स आणि तापमान ग्रेडियंट्सच्या निर्मितीस प्रतिबंध करते, सातत्यपूर्ण निक्षेप सुनिश्चित करते आणि एपिटॅक्सियल लेयरची गुणवत्ता आणि एकसमानता सुधारते.

याव्यतिरिक्त, आमची EPI प्री हीट रिंग प्रगत तापमान नियंत्रण प्रणालीसह सुसज्ज आहे, ज्यामुळे उष्णतापूर्व तापमानाचे अचूक आणि सातत्यपूर्ण नियंत्रण सक्षम होते. नियंत्रणाची ही पातळी EPI प्रक्रियेदरम्यान क्रिस्टल वाढ, सामग्री जमा करणे आणि इंटरफेस प्रतिक्रिया यासारख्या महत्त्वपूर्ण चरणांची अचूकता आणि पुनरावृत्तीक्षमता वाढवते.

टिकाऊपणा आणि विश्वासार्हता हे आमच्या उत्पादनाच्या डिझाइनचे आवश्यक पैलू आहेत. EPI प्री हीट रिंग उच्च तापमान आणि ऑपरेटिंग प्रेशरचा सामना करण्यासाठी, स्थिरता आणि कार्यप्रदर्शन विस्तारित कालावधीत टिकवून ठेवण्यासाठी तयार केली आहे. हा डिझाइन दृष्टीकोन देखभाल आणि बदली खर्च कमी करतो, दीर्घकालीन विश्वासार्हता आणि ऑपरेशनल कार्यक्षमता सुनिश्चित करतो.

EPI प्री हीट रिंगची स्थापना आणि ऑपरेशन सरळ आहे, कारण ती सामान्य EPI उपकरणांशी सुसंगत आहे. यात वापरकर्ता-अनुकूल वेफर प्लेसमेंट आणि पुनर्प्राप्ती यंत्रणा आहे, ज्यामुळे सुविधा आणि ऑपरेशनल कार्यक्षमता वाढते.

VeTek Semiconductor वर, आम्ही ग्राहकांच्या विशिष्ट गरजा पूर्ण करण्यासाठी कस्टमायझेशन सेवा देखील ऑफर करतो. यामध्ये EPI प्री हीट रिंगचा आकार, आकार आणि तापमान श्रेणी अद्वितीय उत्पादन गरजेनुसार तयार करणे समाविष्ट आहे.

एपिटॅक्सियल ग्रोथ आणि सेमीकंडक्टर उपकरण उत्पादनामध्ये गुंतलेल्या संशोधक आणि उत्पादकांसाठी, VeTek सेमीकंडक्टरद्वारे EPI प्री हीट रिंग अपवादात्मक कामगिरी आणि विश्वासार्ह समर्थन प्रदान करते. हे उच्च-गुणवत्तेची एपिटॅक्सियल वाढ साध्य करण्यासाठी आणि कार्यक्षम सेमीकंडक्टर उपकरण निर्मिती प्रक्रिया सुलभ करण्यासाठी एक महत्त्वपूर्ण साधन म्हणून काम करते.

CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म:

CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म
मालमत्ता	ठराविक मूल्य
क्रिस्टल स्ट्रक्चर	FCC β फेज पॉलीक्रिस्टलाइन, प्रामुख्याने (111) ओरिएंटेड
घनता	3.21 g/cm³
कडकपणा	2500 विकर्स कडकपणा (500 ग्रॅम लोड)
धान्य आकार	2~10μm
रासायनिक शुद्धता	99.99995%
उष्णता क्षमता	640 J·kg-1·K-1
उदात्तीकरण तापमान	2700℃
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ	415 MPa RT 4-पॉइंट
तरुणांचे मॉड्यूलस	430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃
औष्मिक प्रवाहकता	300W·m-1·K-1
थर्मल विस्तार (CTE)	4.5×10-6K-1