VeTek सेमीकंडक्टर अल्ट्रा प्युअर सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उत्पादनांच्या निर्मितीमध्ये माहिर आहे, हे कोटिंग्स शुद्ध ग्रेफाइट, सिरॅमिक्स आणि रेफ्रेक्ट्री मेटल घटकांवर लागू करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहेत.
आमचे उच्च शुद्धता कोटिंग्स प्रामुख्याने सेमीकंडक्टर आणि इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगांमध्ये वापरण्यासाठी लक्ष्यित आहेत. ते वेफर कॅरिअर्स, ससेप्टर्स आणि हीटिंग एलिमेंट्ससाठी संरक्षणात्मक स्तर म्हणून काम करतात, त्यांना MOCVD आणि EPI सारख्या प्रक्रियांमध्ये आलेल्या संक्षारक आणि प्रतिक्रियाशील वातावरणापासून संरक्षण देतात. या प्रक्रिया वेफर प्रक्रिया आणि उपकरण निर्मितीसाठी अविभाज्य आहेत. याव्यतिरिक्त, आमचे कोटिंग्स व्हॅक्यूम फर्नेस आणि सॅम्पल हीटिंगमधील अनुप्रयोगांसाठी योग्य आहेत, जेथे उच्च व्हॅक्यूम, प्रतिक्रियाशील आणि ऑक्सिजन वातावरणाचा सामना करावा लागतो.
VeTek Semiconductor वर, आम्ही आमच्या प्रगत मशीन शॉप क्षमतेसह सर्वसमावेशक उपाय ऑफर करतो. हे आम्हाला ग्रेफाइट, सिरॅमिक्स किंवा रीफ्रॅक्टरी धातू वापरून बेस घटक तयार करण्यास आणि SiC किंवा TaC सिरेमिक कोटिंग्ज घरामध्ये लागू करण्यास सक्षम करते. विविध गरजा पूर्ण करण्यासाठी लवचिकता सुनिश्चित करून, आम्ही ग्राहकांनी पुरवलेल्या भागांसाठी कोटिंग सेवा देखील प्रदान करतो.
आमची सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उत्पादने Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD प्रणाली, RTP/RTA प्रक्रिया, एचिंग प्रक्रिया, ICP/PSS एचिंग प्रक्रिया, निळ्या आणि हिरव्या एलईडी, UV LED आणि खोल-UV सह विविध LED प्रकारांच्या प्रक्रियेत मोठ्या प्रमाणावर वापरल्या जातात. LED इ., जे LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI इत्यादी उपकरणांशी जुळवून घेतले जाते.
CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म | |
मालमत्ता | ठराविक मूल्य |
क्रिस्टल स्ट्रक्चर | FCC β फेज पॉलीक्रिस्टलाइन, प्रामुख्याने (111) ओरिएंटेड |
घनता | 3.21 g/cm³ |
कडकपणा | 2500 विकर्स कडकपणा (500 ग्रॅम लोड) |
धान्य आकार | 2~10μm |
रासायनिक शुद्धता | 99.99995% |
उष्णता क्षमता | 640 J·kg-1·K-1 |
उदात्तीकरण तापमान | 2700℃ |
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ | 415 MPa RT 4-पॉइंट |
तरुणांचे मॉड्यूलस | 430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃ |
थर्मल चालकता | 300W·m-1·K-1 |
थर्मल विस्तार (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VeTek सेमीकंडक्टर हा चीनमधील एक आघाडीचा सॉलिड SiC गॅस शॉवर हेड निर्माता आणि नवोदित आहे. आम्ही अनेक वर्षांपासून सेमीकंडक्टर मटेरियलमध्ये खास आहोत. VeTek सेमीकंडक्टर सॉलिड SiC गॅस शॉवर हेडचे मल्टी-पोरोसिटी डिझाइन हे सुनिश्चित करते की CVD प्रक्रियेत निर्माण होणारी उष्णता विखुरली जाऊ शकते. , सब्सट्रेट समान रीतीने गरम केले जाईल याची खात्री करून. आम्ही चीनमध्ये तुमच्यासोबत दीर्घकालीन सेट अप करण्यास उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाVeTek सेमीकंडक्टर ही चीनमधील एक आघाडीची रासायनिक वाफ डिपॉझिशन प्रोसेस सॉलिड SiC एज रिंग निर्माता आणि नवोदित आहे. आम्ही अनेक वर्षांपासून सेमीकंडक्टर मटेरियलमध्ये खास आहोत. VeTek सेमीकंडक्टर सॉलिड SiC एज रिंग सुधारित एचिंग एकसमानता आणि अचूक वेफर पोझिशनिंग ऑफर करते जेव्हा इलेक्ट्रोस्टाकसह वापरले जाते. , सुसंगत आणि विश्वासार्ह एचिंग परिणामांची खात्री करून. आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाVeTek सेमीकंडक्टर हा चीनमधील एक आघाडीचा सॉलिड SiC एचिंग फोकसिंग रिंग निर्माता आणि नवोदित आहे. आम्ही अनेक वर्षांपासून SiC मटेरियलमध्ये विशेषीकृत आहोत. उत्कृष्ट थर्मोकेमिकल स्थिरता, उच्च यांत्रिक शक्ती आणि प्लाझ्माचा प्रतिकार यामुळे सॉलिड SiC ची फोकसिंग रिंग सामग्री म्हणून निवड केली जाते. erosion.आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवा