VeTek सेमीकंडक्टर अल्ट्रा प्युअर सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उत्पादनांच्या निर्मितीमध्ये माहिर आहे, हे कोटिंग्स शुद्ध ग्रेफाइट, सिरॅमिक्स आणि रेफ्रेक्ट्री मेटल घटकांवर लागू करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहेत.
आमचे उच्च शुद्धता कोटिंग्स प्रामुख्याने सेमीकंडक्टर आणि इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगांमध्ये वापरण्यासाठी लक्ष्यित आहेत. ते वेफर कॅरिअर्स, ससेप्टर्स आणि हीटिंग एलिमेंट्ससाठी संरक्षणात्मक स्तर म्हणून काम करतात, त्यांना MOCVD आणि EPI सारख्या प्रक्रियांमध्ये आलेल्या संक्षारक आणि प्रतिक्रियाशील वातावरणापासून संरक्षण देतात. या प्रक्रिया वेफर प्रक्रिया आणि उपकरण निर्मितीसाठी अविभाज्य आहेत. याव्यतिरिक्त, आमचे कोटिंग्स व्हॅक्यूम फर्नेस आणि सॅम्पल हीटिंगमधील अनुप्रयोगांसाठी योग्य आहेत, जेथे उच्च व्हॅक्यूम, प्रतिक्रियाशील आणि ऑक्सिजन वातावरणाचा सामना करावा लागतो.
VeTek Semiconductor वर, आम्ही आमच्या प्रगत मशीन शॉप क्षमतेसह सर्वसमावेशक उपाय ऑफर करतो. हे आम्हाला ग्रेफाइट, सिरॅमिक्स किंवा रीफ्रॅक्टरी धातू वापरून बेस घटक तयार करण्यास आणि SiC किंवा TaC सिरॅमिक कोटिंग्ज घरामध्ये लागू करण्यास सक्षम करते. विविध गरजा पूर्ण करण्यासाठी लवचिकता सुनिश्चित करून, आम्ही ग्राहकांनी पुरवलेल्या भागांसाठी कोटिंग सेवा देखील प्रदान करतो.
आमची सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उत्पादने Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD प्रणाली, RTP/RTA प्रक्रिया, एचिंग प्रक्रिया, ICP/PSS एचिंग प्रक्रिया, निळ्या आणि हिरव्या एलईडी, UV LED आणि खोल-UV सह विविध LED प्रकारांच्या प्रक्रियेत मोठ्या प्रमाणावर वापरल्या जातात. LED इ., जे LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL मधील उपकरणांशी जुळवून घेतले आहे, ASM, Annealsys, TSI आणि असेच.
CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म | |
मालमत्ता | ठराविक मूल्य |
क्रिस्टल स्ट्रक्चर | FCC β फेज पॉलीक्रिस्टलाइन, प्रामुख्याने (111) ओरिएंटेड |
SiC कोटिंग घनता | 3.21 g/cm³ |
SiC कोटिंग कडकपणा | 2500 विकर्स कडकपणा (500 ग्रॅम लोड) |
धान्य आकार | 2~10μm |
रासायनिक शुद्धता | 99.99995% |
उष्णता क्षमता | 640 J·kg-1· के-1 |
उदात्तीकरण तापमान | 2700℃ |
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ | 415 MPa RT 4-पॉइंट |
तरुणांचे मॉड्यूलस | 430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃ |
थर्मल चालकता | 300W·m-1· के-1 |
थर्मल विस्तार (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VeTek सेमीकंडक्टर हा चीनमधील LPE PE2061S साठी SiC कोटेड सपोर्टचा अग्रगण्य निर्माता आणि पुरवठादार आहे. LPE PE2061S साठी SiC कोटेड सपोर्ट LPE सिलिकॉन एपिटॅक्सियल रिॲक्टरसाठी योग्य आहे. बॅरल बेसच्या तळाशी म्हणून, LPE PE2061S साठी SiC कोटेड सपोर्ट 1600 अंश सेल्सिअसच्या उच्च तापमानाचा सामना करू शकतो, ज्यामुळे अति-दीर्घ उत्पादनाचे आयुष्य प्राप्त होते आणि ग्राहकांचा खर्च कमी होतो. तुमची चौकशी आणि पुढील संवादाची अपेक्षा आहे.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाVeTek सेमीकंडक्टर अनेक वर्षांपासून SiC कोटिंग उत्पादनांमध्ये सखोलपणे गुंतलेले आहे आणि चीनमध्ये LPE PE2061S साठी SiC कोटेड टॉप प्लेटचे अग्रणी निर्माता आणि पुरवठादार बनले आहे. आम्ही प्रदान करत असलेली LPE PE2061S साठी SiC कोटेड टॉप प्लेट LPE सिलिकॉन एपिटॅक्सियल रिॲक्टर्ससाठी डिझाइन केलेली आहे आणि बॅरल बेससह शीर्षस्थानी स्थित आहे. LPE PE2061S साठी या SiC कोटेड टॉप प्लेटमध्ये उच्च शुद्धता, उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता आणि एकसमानता यासारखी उत्कृष्ट वैशिष्ट्ये आहेत, जी उच्च-गुणवत्तेच्या एपिटॅक्सियल लेयर वाढण्यास मदत करते. तुम्हाला कोणत्या उत्पादनाची गरज आहे हे महत्त्वाचे नाही, आम्ही तुमच्या चौकशीसाठी उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाचीनमधील अग्रगण्य वेफर ससेप्टर उत्पादन संयंत्रांपैकी एक म्हणून, VeTek सेमीकंडक्टरने वेफर ससेप्टर उत्पादनांमध्ये सतत प्रगती केली आहे आणि अनेक एपिटॅक्सियल वेफर उत्पादकांची ती पहिली पसंती बनली आहे. VeTek सेमीकंडक्टरने प्रदान केलेले LPE PE2061S साठी SiC कोटेड बॅरल ससेप्टर LPE PE2061S 4'' वेफर्ससाठी डिझाइन केलेले आहे. ससेप्टरमध्ये टिकाऊ सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग असते जे LPE (लिक्विड फेज एपिटॅक्सी) प्रक्रियेदरम्यान कार्यप्रदर्शन आणि टिकाऊपणा सुधारते. तुमच्या चौकशीचे स्वागत आहे, आम्ही तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाCVD प्रक्रियेमध्ये गॅस एकसमान बनवण्यात सॉलिड SiC गॅस शॉवर हेड मोठी भूमिका बजावते, ज्यामुळे सब्सट्रेट एकसमान गरम होते. VeTek सेमीकंडक्टर अनेक वर्षांपासून सॉलिड SiC उपकरणांच्या क्षेत्रात सखोलपणे गुंतले आहे आणि ग्राहकांना सानुकूलित सॉलिड SiC गॅस शॉवर हेड प्रदान करण्यास सक्षम आहे. आपल्या आवश्यकता काय आहेत हे महत्त्वाचे नाही, आम्ही आपल्या चौकशीसाठी उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाVeTek सेमीकंडक्टर प्रगत सेमीकंडक्टर सामग्रीच्या संशोधन आणि विकास आणि उत्पादनासाठी नेहमीच वचनबद्ध आहे. आज, VeTek सेमीकंडक्टरने सॉलिड SiC एज रिंग उत्पादनांमध्ये चांगली प्रगती केली आहे आणि ग्राहकांना उच्च सानुकूलित सॉलिड SiC एज रिंग प्रदान करण्यास सक्षम आहे. सॉलिड SiC एज रिंग्स इलेक्ट्रोस्टॅटिक चकसह वापरल्यास उत्तम नक्षीकाम एकरूपता आणि अचूक वेफर पोझिशनिंग प्रदान करतात, सातत्यपूर्ण आणि विश्वासार्ह एचिंग परिणाम सुनिश्चित करतात. तुमच्या चौकशीची आणि एकमेकांचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्याची अपेक्षा करत आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवासॉलिड SiC एचिंग फोकसिंग रिंग हे वेफर एचिंग प्रक्रियेतील मुख्य घटकांपैकी एक आहे, जे वेफर फिक्सिंग, प्लाझ्मा फोकसिंग आणि वेफर एचिंग एकसमानता सुधारण्यात भूमिका बजावते. चीनमधील अग्रगण्य SiC फोकसिंग रिंग निर्माता म्हणून, VeTek सेमीकंडक्टरकडे प्रगत तंत्रज्ञान आणि परिपक्व प्रक्रिया आहे आणि ग्राहकांच्या गरजांनुसार अंतिम ग्राहकांच्या गरजा पूर्ण करणारी सॉलिड SiC एचिंग फोकसिंग रिंग तयार करते. आम्ही तुमच्या चौकशीची आणि एकमेकांचे दीर्घकालीन भागीदार होण्याची वाट पाहत आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवा